一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置
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摘要
本实用新型提供一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置，其包含吹扫气体进气管主路和由进气管主路一分为二的两条进气管支路；所述两条进气管支路分别为制程状态下和非制程状态下的进气管路；所述进气管主路和两条进气管支路的进气口处都安装有气动阀；所述非制程状态下的进气管支路还安装有节流阀。所述进气管主路进气口端与吹扫气体供气管道相连；所述两条进气管路的出气口端与干式真空泵相连。该干式真空泵吹扫气体流量切换装置可以有效控制非制程状态下吹扫气体的流量大小，从而大幅节省非制程状态下干泵吹扫气体的用量。因此，可以进一步降低基于干式真空泵的真空镀膜工艺制造成本。
基本信息
专利标题 ：
一种干式真空泵吹扫气体流量切换装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122483710.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-15
授权号 ：
CN216715874U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
杨与胜陈剑雨陈清彬
申请人 ：
福建钧石能源有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市鲤城区南环路高新技术园区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122483710.2
主分类号 ：
F17D3/01
IPC分类号 ：
F17D3/01 F17D1/04 F04B39/00 F04B37/14
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D3/00
观测或控制工序的装置
F17D3/01
用于控制、指示或观测产品的输送
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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