一种光刻机的可调支脚座
授权
摘要
本实用新型属于支脚座技术领域，尤其为一种光刻机的可调支脚座，包括支脚座本体，所述支脚座本体外表面等距开设有安装槽，所述支脚座本体外表面中部套接安装有固定套管，所述固定套管底端等距焊接有连接卡板，所述连接卡板内部铰接安装有支撑杆，所述安装槽底部铰接安装有支撑底板，所述支撑底板顶端一侧开设有转动槽，所述固定套管内壁一侧中部开设有限位螺孔。通过使用安装槽，可以对支撑杆和支撑底板进行收纳，通过使用固定套管，可以对支撑杆和支撑底板的位置进行调节，通过使用限位螺杆，可以对固定套管进行固定，通过使用支撑底板，可以增大支脚座本体的支撑面积，可以使支脚座本体安装的更加稳定，便于支脚座本体的使用。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机的可调支脚座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122490898.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-16
授权号 ：
CN216666941U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
商富彬
申请人 ：
江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市大丰区刘庄镇工业集中区
代理机构 ：
盐城创佳智科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
蔡春儒
优先权 ：
CN202122490898.3
主分类号 ：
F16M7/00
IPC分类号 ：
F16M7/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座；机座或支架
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座；机座或支架
F16M7/00
安装或调整发动机底座，框架或基础上的支脚的零部件；安装发动机的固定部分，如汽缸体
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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