本实用新型提供了一种用于处理含氟废渣的干燥预烧反应炉，属于含氟废渣处理设备技术领域。该反应炉包括炉体，炉体顶部设有加料管，炉体底部设有排料管，炉体内腔设有加热装置，加热装置顶部安装载料板，炉体左右两侧还分别设有抽真空装置、干空气充气装置，抽出炉体内腔气体的抽真空装置通过管道与炉体内腔连通，干空气充气装置通过导气管与炉体内腔连通。本实用新型对含水量较低的含氟废渣粉体进行干燥加氧预烧处理，达到适宜的温度后便于后续工序中与五氯化磷气体反应制备五氟化磷气体以进一步用于合成六氟磷酸锂；通过抽真空装置和干空气充气装置交替工作，结合加热装置对含氟废渣粉体干燥及加氧预烧处理。