用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具，该用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具包括：本体，本体位于单光仪光路内，本体具有通光孔；待测样品放置台，待测样品放置台位于本体的第一侧上，具有FP腔的MEMS滤光片置于待测样品放置台上时与通光孔位于同一光路内；样品挡片组件，样品挡片组件位于本体的第一侧上，通过调整样品挡片组件与待测样品放置台之间的位置关系以调整具有FP腔的MEMS滤光片在竖直方向的倾斜角度；电气连接组件，电气连接组件位于本体的第一侧上，电气连接组件与具有FP腔的MEMS滤光片电连接。应用本实用新型的技术方案，能够解决现有技术中滤光片位姿自由度不足导致无法实现MEMS滤光片在不同角度下通光测试的技术问题。
基本信息
专利标题 ：
用于具有FP腔的MEMS滤光片的测试夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122496279.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-18
授权号 ：
CN216207434U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
张云昊刘舒扬张晨王天鹤赵安娜周志远潘建旋姜洪妍王才喜
申请人 ：
天津津航技术物理研究所
申请人地址 ：
天津市东丽区天津市空港经济区中环西路58号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122496279.5
主分类号 ：
G01M11/00
IPC分类号 ：
G01M11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/00
光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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