本实用新型的技术方案公开了一种低温蒸馏式工业废水处理系统，包括前端处理系统、主体处理系统和后端处理系统；主体处理系统包括蒸发器、加热器、压缩机、电磁三通阀、热交换器、膨胀阀、制冷剂储罐、射流泵和污水泵；蒸发器分别与污水泵和射流泵连通；制冷剂储罐分别与加热器和膨胀阀相连，压缩机分别与加热器、电磁三通阀和热交换器连接，电磁三通阀分别和膨胀阀、热交换器相连；压缩机和电磁三通阀之间安装换热管路，换热管路设置在蒸发器内部；蒸发器和射流泵连通管路中的介质通过热交换器进行换热；实现制冷剂和蒸发器中的废水进行换热，以及制冷剂和水蒸气进行换热，从而实现废水的低温蒸馏，且对水蒸汽的余热进行回收利用。