一种管路串联式紫外臭氧浓度检测装置
授权
摘要
本实用新型涉及光学原理检测气体技术领域，尤其涉及一种管路串联式紫外臭氧浓度检测装置，包括臭氧进气体口、三通连接器、针型阀、防腐流量计、臭氧浓度传感器、臭氧破坏器、压力传感器、臭氧出气口。可以实现将臭氧发生器的管路的气体直接接入到本款紫外臭氧浓度检测仪，紫外臭氧检测仪内部带有三通旁路连接和针型阀的流量调节，带有温度和压力补偿可以将臭氧浓度检测仪所检测的工况浓度转换成标况浓度，可解决在臭氧实验、高浓度臭氧应用、半导体臭氧应用的工艺中，可以将臭氧浓度检测仪串联在管路中，在不浪费臭氧气体的情况下可实现标况臭氧浓度的实时检测。
基本信息
专利标题 ：
一种管路串联式紫外臭氧浓度检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122532763.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-21
授权号 ：
CN216284914U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
李淑强徐丽玉
申请人 ：
山东智普测控技术有限公司
申请人地址 ：
山东省淄博市张店区三赢路西首淄博科技工业园创业园3号厂房2楼1-3跨
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122532763.9
主分类号 ：
G01N21/33
IPC分类号 ：
G01N21/33
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
G01N21/25
颜色；光谱性质，即比较材料对两个或多个不同波长或波段的光的影响
G01N21/31
测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应，例如原子吸收光谱术
G01N21/33
利用紫外光
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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