本实用新型公开了一种工业废气处理用具有自清洁功能的低温等离子体设备，包括底座，所述底座顶部的左侧固定连接有净化箱，所述净化箱的右侧连通有过滤箱，所述过滤箱内腔顶部与底部之间的左侧固定连接有过滤网。本实用新型通过底座、净化箱、过滤箱、过滤网、驱动箱、电机、转盘、传动轴、推杆、滑杆、滑套、复位弹簧、支杆、刷板、移动杆、缓冲盒、横杆、移动块、缓冲弹簧、低温等离子体设备本体、吸风机和隔板的配合使用，具备自清洁功能的优点，解决了现有的等离子体设备在过滤废气的过程中，废气中的颗粒物容易堵塞过滤装置，会降低废气过滤的效率，而且清理的成本较高，从而容易降低等离子体设备实用性的问题。