一种光纤光栅镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光纤光栅镀膜装置,包括一结构主体,所述结构主体包括底座,所述底座上端面设置有内部为空腔的箱体,所述箱体内设置有镀膜腔,所述镀膜腔内部对称设置有用于夹持光纤光栅的夹持机构,所述镀膜腔内还设置有镀膜机构;所述夹持机构包括活动槽,所述活动槽内一侧安装有伺服电机,所述伺服电机的输出轴连接有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆另一端通过联轴器连接有第二螺纹杆,所述第一螺纹杆与第二螺纹杆上均安装有固定座,两个所述固定座上均安装有转轴,所述转轴一端连接有夹持座;所述镀膜装置包括安装于镀膜腔内的蒸镀源,所述蒸镀源下端连接有输出管,所述输出管上插接有镀膜源分配管,所述镀膜源分配管上安装有若干个喷头。
基本信息
专利标题 :
一种光纤光栅镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122555371.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-23
授权号 :
CN216585171U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
潘祥韬黄国明韦炳存
申请人 :
深圳市福津光电技术有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区坪地街道六联社区长山工业区168号A6栋201
代理机构 :
深圳华企汇专利代理有限公司
代理人 :
崔亚军
优先权 :
CN202122555371.4
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24 C23C14/50 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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