一种晶圆棒外壁打磨装置
授权
摘要
一种晶圆棒外壁打磨装置，包括打磨机构，打磨机构的两端设有一对夹持机构，打磨机构用于晶圆棒外壁的打磨操作，夹持机构用于晶圆棒两端的夹持，本实用新型在进行晶圆加工时，方便对晶圆棒的外壁进行打磨，在打磨时能够确保晶圆棒的圆度，同时还能有效地提高晶圆棒的打磨效率，同时在打磨时能地晶圆棒的两端进行稳定的夹持，从而方便进行晶圆棒的打磨操作，具有较强的实用性。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆棒外壁打磨装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122590045.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-27
授权号 ：
CN216179005U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
周汉知李晶
申请人 ：
四川绿然科技集团有限责任公司
申请人地址 ：
四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道88号
代理机构 ：
成都诚中致达专利代理有限公司
代理人 ：
阮涛
优先权 ：
CN202122590045.7
主分类号 ：
B24B5/04
IPC分类号 ：
B24B5/04 B24B5/50 B24B41/06 B24B41/04 B24B47/12 B24B47/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B5/00
为磨削工件旋转面设计的机床或装置，还包含磨相邻平面；及其附件
B24B5/02
带有夹持工件的顶尖或卡盘的
B24B5/04
用于磨削圆柱形外表面
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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