一种异形PBN坩埚
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摘要

本实用新型公开了一种异形PBN坩埚,异形PBN坩埚为顶部和底部均敞口的异形筒状结构;异形PBN坩埚从顶部到底部包括依次相接的体部、锥部和籽晶腔;体部的内径从顶部到底部逐渐减小、呈倒微八字形;锥部的内径从顶部到底部逐渐减小、形成锥形;籽晶腔的底部内径逐渐增大、形成微喇叭状,籽晶腔的底部内侧塞有BN棒。本实用新型异形PBN坩埚,能够有效延长PBN坩埚的使用寿命,降低磷化铟晶体和PBN坩埚的分离时间,提高生产效率,降低生产成本;在实际生产过程中测得PBN坩埚的实际使用次数提高到了8~10次,晶棒与异形PBN坩埚的分离时间缩短到了1h,能够大幅度提高PBN坩埚的运转效率,降低磷化铟单晶生长中的PBN坩埚成本。

基本信息
专利标题 :
一种异形PBN坩埚
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122593938.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-27
授权号 :
CN216192878U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
罗福敏柯尊斌王卿伟
申请人 :
中锗科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市溧水开发区中兴东路9号
代理机构 :
南京中律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李建芳
优先权 :
CN202122593938.7
主分类号 :
C30B29/40
IPC分类号 :
C30B29/40  C30B9/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/40
AⅢBv化合物
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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