一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置,包括第一箱体,第一箱体内腔底部的两端均开设有第一滑槽,所述第一滑槽的内腔活动连接有第一夹持块,所述第一夹持块的右侧开设有第二滑槽,所述第二滑槽的内腔活动连接有第二夹持块,所述第一箱体的左侧通过螺栓螺孔活动连接有左侧板。本实用新型通过设置第一箱体,起到了对电源表面进行保护的效果,通过第一滑槽和第一夹持块配合,起到了对电源进行横向夹持的效果,避免电源随第一箱体的移动而产生横向位移的情况,通过第二滑槽和第二夹持块配合,起到了对电源进行纵向夹持的效果,避免了移动第一箱体时电源产生纵向位移而造成对电源进行损坏的情况。
基本信息
专利标题 :
一种基于DUV高精度激光器脉冲电源保护装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122599218.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-27
授权号 :
CN216599454U
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
蒋芳芳蒋晖晖
申请人 :
南京尹特利微电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市江宁空港经济开发区羲和路37号3幢407-10室(江宁开发区)
代理机构 :
广东奥益专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
何国涛
优先权 :
CN202122599218.1
主分类号 :
H02M9/02
IPC分类号 :
H02M9/02 H05K7/20 H05K5/02 H05K5/06
法律状态
2022-05-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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