用于AG玻璃的加工设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于AG玻璃的加工设备，包括具有门阀的工艺室、转台、能够安装于所述转台的转架、等离子产生装置、偏压装置以及用于对所述工艺室抽真空的真空装置；所述转台设置于所述工艺室的中心区域，所述转架具有安装待加工的玻璃基板的安装面；所述等离子产生装置设置于所述工艺室的侧壁，具有气源入口，清洗气源和蚀刻气源可为其供气，所述清洗气源包括惰性气体源，所述蚀刻气源包括惰性气体源和含氟气体源；所述偏压装置能够在所述等离子产生装置与所述转架之间形成偏压。采用本实用新型的加工设备能够高效率、无污染地利用玻璃基板制造出AG玻璃，且制造的AG玻璃的防眩光表面凹凸结构均匀，解析度好。
基本信息
专利标题 ：
用于AG玻璃的加工设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122603021.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-27
授权号 ：
CN216550160U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
邬文波赵成伟
申请人 ：
西实显示高新材料（沈阳）有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市浑南区金仓路12甲-1号
代理机构 ：
深圳市君之泉知识产权代理有限公司
代理人 ：
吕战竹
优先权 ：
CN202122603021.0
主分类号 ：
C03C15/00
IPC分类号 ：
C03C15/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C15/00
纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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