本实用新型公开了低温蒸发联合臭氧催化氧化处理精细化工污水的装置，包括处理外罐，所述处理外罐底端固定连接有三角支撑架，所述处理外罐顶部卡合连接有罐盖，所述罐盖顶端固定连接有固定架，所述固定架顶端固定连接有驱动电机，所述处理外罐内部设置有搅拌机构，所述驱动电机上的输出轴通过联轴器与搅拌机构卡合连接，所述处理外罐内部设置有处理内罐，所述罐盖顶部分别固定连接有臭氧进气管道、抽气管道、污水进料口和高温烟气进气管道，所述污水进料口外侧固定连接有密封盖板。该种低温蒸发联合臭氧催化氧化处理精细化工污水的装置，在对低温蒸发联合臭氧催化氧化处理精细化工污水的装置方面具有较高的实用性。