检修电器盒
授权
摘要

本实用新型公开一种检修电器盒,用于在半导体工艺设备检修时连接在半导体工艺设备的电子元器件和控制电子元器件的控制模块之间,控制二者的通断,检修电器盒包括第一壳体、第一电连接部、第二电连接部和断路器;第一壳体内设有第一内腔和与第一内腔均相连通的第一开孔和第二开孔,第一电连接部、第二电连接部和断路器均位于第一内腔中,第一电连接部和第二电连接部分别与断路器电连接,断路器用于控制第一电连接部和第二电连接部的通断,第一开孔用于电子元器件的线缆伸入第一内腔中,第一电连接部用于与电子元器件的线缆电连接,第二开孔用于控制模块的线缆伸入第一内腔中,第二电连接部用于与控制模块的线缆电连接。上述方案能够提高维修性能。

基本信息
专利标题 :
检修电器盒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122606038.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-27
授权号 :
CN216353836U
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
代怀志文莉辉
申请人 :
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 :
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 :
施敬勃
优先权 :
CN202122606038.1
主分类号 :
H01H9/02
IPC分类号 :
H01H9/02  H01H1/58  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01H
电开关;继电器;选择器;紧急保护装置
H01H9/00
不包含在H01H1/00至H01H7/00组内的开关装置的零部件
H01H9/02
底座、外壳和盖
法律状态
2022-04-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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