片盒洁净度检测系统
授权
摘要
本实用新型公开一种片盒洁净度检测系统，包括片盒清洗机台、废水槽、液体颗粒检测仪、控制器和终端机；片盒清洗机台的废水排放口通过废水排放管路与废水槽内部连通；废水槽内部通过抽检管路与液体颗粒检测仪进口相连，抽检管路上连接有抽水泵，液体颗粒检测仪出口端通过废水排放管路与废水排放系统相连；废水槽内安装有液位传感器，用于检测废水槽中的水位信息；废水槽排水口通过废水排放管路与废水排放系统相连，废水槽与废水排放系统之间的废水排放管路上连接有排水阀；所述片盒清洗机台、液位传感器、排水阀、抽水泵、液体颗粒检测仪和终端机分别与控制器相连。本实用新型能够缩短工艺流程，减少工作量，实现片盒无损且全检，检测准确率高。
基本信息
专利标题 ：
片盒洁净度检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122606524.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-28
授权号 ：
CN216484499U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
李迎辉徐晨歌翟浩天
申请人 ：
徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122606524.3
主分类号 ：
G01N15/06
IPC分类号 ：
G01N15/06 B08B3/04 G06K7/10
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N15/00
测试颗粒的特性；测试多孔材料的渗透性，孔隙体积或者孔隙表面积
G01N15/06
测试悬浮颗粒的浓度
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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