低温等离子设备驱动控制电路
授权
摘要
本实用新型公开了一种低温等离子设备驱动控制电路，属于低温等离子表面处理设备技术领域，由五个集成器件和一个驱动隔离变压器T1组成，五个集成器件包括PWM信号发生器U1、六路反向缓冲器/转换器U2和U3、驱动集成器件U4以及驱动集成器件U5；所述PWM信号发生器U1，选用动态功耗小的CMOS锁相环集成电路；所述六路反向缓冲器/转换器U2和U3，选用CMOS六路反向缓冲器/转换器；所述驱动集成器件U4，选用栅极高低侧驱动集成电路；所述驱动集成器件U5，选用电压比器/运放集成电路。该低温等离子设备驱动控制电路，通过采用数字集成电路控制，外围元件少，占用空间小，同时输入阻抗高，抗干扰能力强，动态功耗小。
基本信息
专利标题 ：
低温等离子设备驱动控制电路
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122607176.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-28
授权号 ：
CN216217683U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
胡福洲王梅
申请人 ：
深圳市质远科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区松岗街道潭头社区第四工业区82号205
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122607176.1
主分类号 ：
H05H1/26
IPC分类号 ：
H05H1/26
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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