运输推车
授权
摘要
本申请公开了一种运输推车,用于运输装载晶圆的晶舟盒,其包括:安装架和存放装置,存放装置设置在安装架,存放装置包括相对设置的第一支撑表面和第二支撑表面,第一支撑表面的内端与第二支撑表面的内端相连,第一支撑表面和第二支撑表面自内而外呈向上倾斜设置,第一支撑表面的倾斜程度大于第二支撑表面的倾斜程度,第一支撑表面与第二支撑表面之间形成存储空间;晶舟盒放置在存储空间时,晶舟盒的底面与第二支撑表面贴合,晶舟盒的一侧面与第一支撑表面接触,以使存放在晶舟盒中的晶圆的重心偏向第一支撑表面。本申请不仅能够较好地固定晶舟盒,保障晶圆的品质,而且结构简单。
基本信息
专利标题 :
运输推车
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122614995.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-28
授权号 :
CN216185199U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
陈敏聪李海林张会战郑朝生张亦锋
申请人 :
广东利扬芯片测试股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市万江街道莫屋新丰东二路2号
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
张艳美
优先权 :
CN202122614995.9
主分类号 :
B62B3/00
IPC分类号 :
B62B3/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B62
无轨陆用车辆
B62B
手动车辆,例如手推车或摇篮车;雪橇
B62B3/00
有一个以上带运输轮的车轴的手推车;其所用转向装置;所用设备
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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