冷凝回收装置及清洗装备
授权
摘要
本实用新型公开了一种冷凝回收装置，用于清洗设备上，包括抽气管道，所述抽气管道一端设进风口，所述进风口与清洗设备的腔体连通，所述抽气管道另一端设出风口，所述抽气管道出风口连通冷凝仓，所述冷凝仓内设冷凝器，所述冷凝器用于冷凝回收超纯水和化学清洗剂，所述抽气管道上还开设冷凝回流口，所述冷凝回流口位于冷凝仓下方。本实用新型还公开一种清洗设备。本实用新型提供的冷凝回收装置及清洗装备，能有效回收超纯水和化学清洗剂，且安装方便、维护简单。
基本信息
专利标题 ：
冷凝回收装置及清洗装备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122628676.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-29
授权号 ：
CN216320060U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
方敏董辉
申请人 ：
深圳市山木电子设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区石岩街道石新社区宏发工业园13栋一楼
代理机构 ：
深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张凡
优先权 ：
CN202122628676.3
主分类号 ：
B01D5/00
IPC分类号 ：
B01D5/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D5/00
蒸气的冷凝；用冷凝法回收挥发性溶剂
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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