机台连接结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种机台连接结构，包括：真空腔室，所述真空腔室设置在所述机台内部，所述真空腔室具有与其内部连通的出口部；检测装置，所述检测装置能够测量真空度；真空阀，所述真空阀与所述真空腔室和所述检测装置连通，所述真空阀能在打开与关闭时使得真空腔室与检测装置之间处于连通或隔断状态。本实用新型可以使得在关闭真空阀后实现将真空腔室与检测装置之间隔断，从而防止在清洗真空腔室时杂质进入检测装置的情况，避免了对检测装置造成污染。此外，由于在关闭真空阀进行清洗时，仅对真空腔室进行清洗，进而相对于真空腔室与检测装置直接连接的情况，可以减小清洗区域，进而节省时间并提升清洗效率。
基本信息
专利标题 ：
机台连接结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122637850.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-29
授权号 ：
CN216284077U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
吴国明王彭
申请人 ：
泓浒(苏州)半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
代理机构 ：
苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
计静静
优先权 ：
CN202122637850.0
主分类号 ：
G01L19/00
IPC分类号 ：
G01L19/00 G01L21/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L19/00
用于测量流动介质的稳定或准稳定压力的仪表的零部件或附件，就这些零部件或附件而论不是特殊形式的压力计所专用的
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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