本实用新型实施例提供一种三坐标测量机用精密驱动装置，包括设置有动力组件的第一支架及设置有驱动组件的第二支架，其中，第一支架包括U形支架、第一支板及端支架,动力组件包括电机、驱动轴及驱动轮，U形支架包括底板及一对侧板及容置空间，电机固定在底板上，且电机轴伸入至容置空间内，端支架包括具有内孔的环形座及一对立柱，一对立柱与第一支板连接，驱动轮设置在一对立柱之间，驱动轴一端与电机轴连接，另一端转动的设置在内孔中，在采用这种方式设置使得动力组件的固定非常稳固，特别是驱动轮设置在端支架内部，且驱动轴的一端转动的固定在内孔中，邻近驱动轮布置，受力结构均匀，特别是立柱与环形座一体成型的情况下更加稳定。