石墨舟矫正滑台和管式PECVD设备
授权
摘要
本申请涉及一种石墨舟矫正滑台，其包括固定机构、X轴矫正机构和Y轴矫正机构，所述固定机构用于石墨舟的放置，所述X轴矫正机构和Y轴矫正机构均设在所述固定机构上，所述石墨舟在放置过程中通过所述X轴矫正机构在所述固定机构上沿X轴方向移动，所述石墨舟在放置后通过所述Y轴矫正机构在所述固定机构上沿Y轴方向移动，所述X轴方向与所述Y轴方向相互垂直。本申请具有以下效果：通过X轴矫正机构在石墨舟的放置过程中调节石墨舟沿X轴方向的位置，通过Y轴矫正机构在石墨舟放置后调节Y轴方向的位置，可以达到对石墨舟的平面位置进行矫正的目的，从而便于机械手对其进行精准地抓取。
基本信息
专利标题 ：
石墨舟矫正滑台和管式PECVD设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122647184.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-01
授权号 ：
CN216712233U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
侯淇文赵爱爽董奎奎
申请人 ：
晶澳太阳能有限公司
申请人地址 ：
河北省邢台市宁晋县晶龙大街
代理机构 ：
北京市万慧达律师事务所
代理人 ：
史雅琪
优先权 ：
CN202122647184.9
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 C23C16/458 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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