一种具有横模抑制功能的声表面换能器
授权
摘要
本实用新型公开了一种具有横模抑制功能的声表面换能器，该声表面换能器包括从下到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层、温补层和钝化层，还包括负载层，该负载层设置于所述温补层之下，之上或设置于温补层之中，负载层不与所述叉指金属层接触，负载层位于指条间隙中和/或位于指条与汇流条的间隙中。本实用新型的声表面换能器在指条的间隙中和/或指条与汇流条的间隙中设置负载层，能够有效抑制谐振器、RF滤波器中横向模式的产生和传播，利用该结构制备的滤波器，温度漂移小、损耗低、通带波纹平坦。
基本信息
专利标题 ：
一种具有横模抑制功能的声表面换能器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122670412.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-03
授权号 ：
CN216216802U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
姚远韩超付先陈曦肖力
申请人 ：
江苏卓胜微电子股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢11层
代理机构 ：
重庆双马智翔专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
顾晓玲
优先权 ：
CN202122670412.4
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H3/08
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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