本实用新型涉及一种半导体特种硅烷气体的提纯装置，包括托体、多个固定在托体底部并沿圆周方向等角度均匀设置的撑脚、可拆卸的固定在托体中的球罐、倾斜插接在球罐顶部一侧的第一进料管、倾斜插接在托体与球罐底部一侧的第一出料管、以及设于托体与球罐之间的主体，主体包括固定在多个撑脚之间的支架、固定在支架顶部的电机、竖直且可转动的设置在球罐内部中心的驱动轴、以及多个固定在驱动轴上并竖直分布的叶片单元；本实用新型结构简单，并大幅提升了提纯效果，同时显著提高了提纯效率。