一种边磨夹持工装
授权
摘要

一种边磨夹持工装,包括支撑构件,支撑构件的左右两端均设有调节机构,支撑构件呈上下分布地设有夹持机构,夹持机构连接于调节机构,调节机构用于调节夹持机构之间的间距,以使夹持机构进行晶圆盘的夹持;支撑构件包括底板,底板的两端均向上延伸地设有两根上延柱,位于同端的上延柱上端安装有安装座,安装座均安装有凹形内伸板,凹形内伸板之间设有一对中环;本实用新型在进行芯片加工时,尤其对晶圆盘的外壁打磨时,能对晶圆盘进行稳定的夹持,在夹持的同时还能带动晶圆盘进行转动,通过晶圆盘的转动能够确保晶圆盘打磨的质量,具有较强的实用性。

基本信息
专利标题 :
一种边磨夹持工装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122726870.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-09
授权号 :
CN216179177U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
周汉知李学良
申请人 :
四川绿然科技集团有限责任公司
申请人地址 :
四川省遂宁市射洪县经济开发区河东大道88号
代理机构 :
成都诚中致达专利代理有限公司
代理人 :
吴飞
优先权 :
CN202122726870.5
主分类号 :
B24B9/06
IPC分类号 :
B24B9/06  B24B41/06  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B9/00
适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置;其附件
B24B9/02
以被磨制品材料性质为特征专门设计的
B24B9/06
非金属无机材料的,如石头,陶瓷制品,瓷器
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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