本实用新型提供了一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷分馏装置，所属废气回收技术领域，包括冷凝器，冷凝器的下侧壁固定连接有精馏箱，精馏箱的下侧壁固定安装有塔釜再沸器，通过卷线筒将外部缠绕的吊绳收卷，将导向架移动至不同的位置上，然后通过摄像头拍摄的画面观察塔体表面的情况，使得塔体在检修的过程更加方便，可以提高了确定检修位置的效率，从而保证了生产过程的效率，通过驱动电机的输出轴带动第一转轴转动，分别通过两个摄像头了解塔体前后两侧表面的情况，使得检修的时候可以全方位的对塔体进行检测，提高了检修过程的效率，从而可以保证了塔体可以稳定的对六氟乙烷进行提取。