一种用于CVD涂层废气快速冷却冷凝阱
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于CVD涂层废气快速冷却冷凝阱，包括冷凝阱外壳，所述冷凝阱外壳上设置有废气进入口，所述冷凝阱外壳上设置有废气流出口，所述废气进入口上安装有密封垫，所述废气流出口上设置有散热翅片，所述冷凝阱外壳的内部活动连接有废气阻隔组件。本实用新型通过经过冷凝阱的废气温度降低，缓解了用于抽走废气的真空泵的温度承受压力，有利于真空泵使用寿命的提高，废气经过冷凝后，温度下降，减少了废气的高温对于整个管道的高温影响，延长的管道及其密封件的寿命，废气中一部分气体经过冷凝沉降在冷凝阱的废气阻隔圆板和冷凝阱外壳内壁。方便维护人员将废气阻隔组件取出清洗。
基本信息
专利标题 ：
一种用于CVD涂层废气快速冷却冷凝阱
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122752388.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-11
授权号 ：
CN216320942U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
王彤
申请人 ：
常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路16号
代理机构 ：
北京市惠诚律师事务所
代理人 ：
周理工
优先权 ：
CN202122752388.9
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00 B01D8/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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