本实用新型涉及一种引弧装置和离子源模组及真空镀膜机。该引弧装置包括安装座、活动杆、引弧针与复位组件。活动杆与安装座活动连接，活动杆的外壁套设有波纹管，波纹管的一端密封连接于安装座，波纹管的另一端与活动杆密封连接，当活动杆相对安装座移动时，波纹管在活动杆的带动下伸缩运动；引弧针用于与靶材抵接以引燃靶材；复位组件用于驱动活动杆朝远离靶材的方向复位运动。通过复位组件使得引弧针在接触靶材后，避免引弧针惯性运动，以避免引弧针过度撞击靶材而造成的引弧针烧坏的风险。通过波纹管的设置，可以减少真空环境对引弧装置的影响，也可对引弧针具有一定的缓冲效果，减低引弧针烧坏的风险。