本申请公开了一种SO₃标气发生及校准装置，涉及机械设备技术领域，包括臭氧发生器、四组标准气体气瓶、反应装置和采样装置，四组标准气体气瓶依次为二氧化硫气瓶、臭氧气瓶、氮气气瓶和甲烷气瓶，臭氧发生器的输入端通过管道连通有纯氧气气瓶，臭氧发生器的输出端通过管道与臭氧气瓶相连通，二氧化硫气瓶、臭氧气瓶和氮气气瓶的输出端分别通过管道与反应装置相连通，甲烷气瓶的输出端和反应装置的输出端分别通过管道与采样装置相连通，反应装置的外部设置有控温加热装置A，采样装置的外部设置有控温加热装置B，采样装置连接有实验室分析校准装置。本申请解决了SO₃标准气体的发生及对SO₃监测装置的校准，为燃煤电厂和环保部门提供了更加准确可靠的数据。