半导体湿法设备混合配比集中供液系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体湿法设备混合配比集中供液系统，包括设置在无尘室内的阀箱以及设置在集中供液室内的集中供液部、混合桶组件、校准桶、日用桶和连接管组件，集中供液部连接混合桶组件，混合桶组件连接校准桶，校准桶连接日用桶，日用桶连接湿法设备，日用桶与湿法设备之间设有阀箱，连接管组件连接供液部、混合桶组件、校准桶、日用桶、阀箱和湿法设备，集中供液部与湿法设备之间相互连接。本实用新型提供了一种实现高效全自动集中供液、降低了车间危害化学品使用安全风险、整个供液系统实现自动化液体调配、减少人员操作、浓度精确的半导体湿法设备混合配比集中供液系统。
基本信息
专利标题 ：
半导体湿法设备混合配比集中供液系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122822174.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-17
授权号 ：
CN216223856U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
龙欣江陈文军梅万元张中
申请人 ：
江苏芯德半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市浦口区浦口经济开发区林春路8号
代理机构 ：
无锡华越知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
王少卿
优先权 ：
CN202122822174.4
主分类号 ：
B01F25/50
IPC分类号 ：
B01F25/50 B01F35/71 B01F35/80 B01F35/00 B01F33/00 H01L21/67
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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