一种对卷膜进行限位的装置
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摘要
本实用新型提供了一种对卷膜进行限位的装置，包括固定部、挡片和螺丝；所述固定部为圆环形，所述固定部上设置有螺纹孔，所述螺丝与所述螺纹孔相配合；所述挡片的一端与所述固定部连接，另一端向远离所述固定部的方向延伸，所述挡片的另一端与所述固定部的轴心之间的距离大于所述卷膜的外表面与所述固定部的轴心之间的距离。所述装置通过螺丝与卷膜轴杆可拆卸连接，通过固定部和挡片挡住卷膜，可以有效的防止卷膜整体向卷膜轴杆的另一端滑动、被拉伸的卷膜偏斜或拱起，提高了晶圆的真空贴膜机的工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种对卷膜进行限位的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122833532.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-18
授权号 ：
CN216233222U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
祝涛
申请人 ：
广州粤芯半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区中新广州知识城凤凰五路28号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
尤彩红
优先权 ：
CN202122833532.1
主分类号 ：
B65B33/02
IPC分类号 ：
B65B33/02 B65B41/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65B
包装物件或物料的机械，装置或设备，或方法；启封
B65B33/00
用可移去的，如可剥去的覆盖层包装物件
B65B33/02
包装小物件，如机器或发动机的备件
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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