一种锂负极锂片表面高效镀膜装置
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摘要

本实用新型一种锂负极锂片表面高效镀膜装置,包括溅射室内腔水平设置有镀膜隔板,两组镀膜隔板上下两端侧壁均匀开设有间隔腔孔,溅射室外端侧壁固定有电机安装板,电机安装板顶部安装有伺服电机,伺服电机输出端套接有两组主动连杆,两组主动连杆外壁分别套接有主动转轮和从动转轮,两组主动连杆转动贯穿溅射室侧壁并套接有转动螺杆,转动螺杆外壁螺接套设有溅射挡管,溅射挡管和镀膜隔板滑动插接,溅射室内腔两端侧壁安装有电动伸缩杆,两侧电动伸缩杆相对伸缩端设置有夹持紧固机构,本实用新型装置转动螺杆外壁螺接套设有溅射挡管,从而在镀膜隔板内腔水平移动,对间隔腔孔进行实时封堵调整。

基本信息
专利标题 :
一种锂负极锂片表面高效镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122833634.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-18
授权号 :
CN216237248U
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
徐立球徐悟宇江灿灿邱耀忠杜厚胜韩永洪
申请人 :
江苏德立信电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省连云港市中国(江苏)自由贸易试验区连云港片区经济技术开发区顾圩路8号
代理机构 :
连云港润知专利代理事务所
代理人 :
王彦明
优先权 :
CN202122833634.3
主分类号 :
C23C14/34
IPC分类号 :
C23C14/34  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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