一种大量程比的MEMS热式质量流量计
授权
摘要
本实用新型公开了一种大量程比的MEMS热式质量流量计，包括设有流道的气路座，流道包括主流道和分流道，主流道上设置进气口和出气口，主流道上设有文丘里管结构，分流道上设置封装板，封装板上封装有MEMS流量芯片，封装板分别与电压放大倍数不同的至少两个主电路板连接。本实用新型的MEMS热式质量流量计通过设置具有不同电压放大倍数的主电路板，可在待测流量较小时，通过较大放大倍数的主电路板对MEMS流量芯片的信号进行处理；在待测流量较大时，通过较小放大倍数的主电路板对MEMS流量芯片的信号进行处理，从而解决现有技术无法兼顾大小流量的问题，实现大量程比、高精度测量。
基本信息
专利标题 ：
一种大量程比的MEMS热式质量流量计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122859635.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
CN216246574U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
胡国庆田伟卢笛
申请人 ：
青岛芯笙微纳电子科技有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市崂山区松岭路169号国际创新园B座12楼B2-1房间
代理机构 ：
青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘娜
优先权 ：
CN202122859635.5
主分类号 ：
G01F1/86
IPC分类号 ：
G01F1/86 G01F1/684
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F1/00
测量连续通过仪表的流体或流动固体材料的流量或质量流量
G01F1/76
测量流体或流动固体材料质量流量的装置
G01F1/86
间接式质量流量计，例如，测量流量、密度、温度或压力
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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