本实用新型公开了多晶硅压片机用高可靠长寿命的螺杆真空泵，涉及螺杆真空泵设备技术领域，包括底座、空腔、顶板、真空泵主体、滑块、复位弹簧、安装块、滑槽、活动块、压缩弹簧、滑杆、支撑板、缓冲弹簧、冷却箱、冷却管、伺服电机、涡轮、触点、警示灯、连接杆和推杆。本实用新型通过缓冲弹簧和复位弹簧配合，对于真空泵主体起到缓冲减震作用，避免造成真空泵主体的损坏，保证了真空泵主体的使用寿命，保证了装置的使用效果，当真空泵主体的震动幅度过大时，支撑板向上运动到一定程度，使得警示灯开始工作，对于工作人员起到警示作用，避免真空泵主体由于震动出现损坏，保证了装置的安全性。