一种高度集成的真空蒸镀机
授权
摘要
本申请提出一种高度集成的真空蒸镀机，包括架台、主腔体、主阀、冷泵、电控柜、电源、压缩机和油泵，主腔体与主阀固定并且主腔体与主阀的连接处设置有一个排气通口，主腔体内的空气通过排气通口进入主阀，主阀与冷泵和油泵连接，油泵用于抽真空，冷泵与压缩机7连接，主腔体、主阀、冷泵、电控柜、电源、压缩机和油泵均设置在架台的内部，架台为正方体或长方体的金属框架，主腔体设置在架台的前端，主阀的后壁与主阀固定，冷泵与主阀的下表面固定，电控柜、电源、压缩机和油泵设置在架台的后端，并且，电控柜设置在电源、压缩机和油泵的上方，电源、压缩机和油泵设置在一排并且按照从左到右的顺序依次设置，油泵通过粗抽管与主阀连接。
基本信息
专利标题 ：
一种高度集成的真空蒸镀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122875805.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
CN216585178U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
薛蒙晓
申请人 ：
苏州佑伦真空设备科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区东旺路45号
代理机构 ：
苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹恒涛
优先权 ：
CN202122875805.9
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 C23C14/30 C23C14/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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