一种双螺纹顶升调节机构
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摘要
本实用新型提供了一种双螺纹顶升调节机构，所述机构用于调整晶圆减薄机的真空吸盘的台面相对水平面的角度，其特征在于，包括：调整螺丝、顶升柱、固定螺母块、固定座和第一球面垫圈、与所述真空吸盘固定连接的被调整块，其中所述固定座与机架固定连接，用于支持所述被调整块；所述固定螺母块与所述固定座固定连接；所述调整螺丝的第一螺杆部与所述固定螺母块之间螺纹连接，所述螺纹具有第一螺距；所述顶升柱的底部与所述调整螺丝的第二螺杆部之间螺纹连接，所述螺纹具有第二螺距；所述顶升柱的顶部通过所述球面垫圈与所述被调整块接触并支持所述被调整块；所述第一螺距不等于所述第二螺距。本实用新型的双螺纹顶升调节机构可以提高设备精度，满足晶圆平坦度要求。
基本信息
专利标题 ：
一种双螺纹顶升调节机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122877651.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-23
授权号 ：
CN216278814U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
林海涛梁猛赵凯李彬申勇
申请人 ：
上海世禹精密机械有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区九亭镇连富路1589号3幢101室
代理机构 ：
上海远同律师事务所
代理人 ：
丁利华
优先权 ：
CN202122877651.7
主分类号 ：
F16B5/02
IPC分类号 ：
F16B5/02
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16B
紧固或固定构件或机器零件用的器件，如钉、螺栓、簧环、夹、卡箍或楔；连接件或连接
F16B
紧固或固定构件或机器零件用的器件，如钉、螺栓、簧环、夹、卡箍或楔；连接件或连接
F16B5/00
薄板或板的相互连接或与其平行的带或杆的连接
F16B5/02
通过使用带螺纹的紧固件
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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