本实用新型公开了一种单向阀及真空泵装置，其属于单向阀及真空泵装置，单向阀包括阀体及阀芯组件，所述阀体具有阀芯孔及第一排气孔，所述阀体被配置为安装于真空泵底座上，且所述第一排气孔能连通于真空泵的第二排气孔；阀芯组件活动设于所述阀芯孔，且所述阀芯组件包括阀芯及弹性件，所述弹性件的一端抵紧于所述阀体，所述弹性件的另一端抵紧于所述阀芯，所述阀芯能封堵第一排气孔与所述第二排气孔之间的通路。本实用新型提供的单向阀及真空泵装置能够防止外界的水或水气通过真空泵的第二排气阀进入真空泵中，进而保证真空泵能够正常运行，具有较高的安全性。