一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构
授权
摘要
本实用新型公开一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构，包括：两对称设置的喷淋架、用于驱动所述喷淋架进行上下移动的Z向移动驱动组件、顶板、安装在所述顶板上的X向移动驱动组件，所述Z向移动驱动组件与所述X向移动驱动组件连接，所述喷淋架与所述Z向移动驱动组件连接，所述喷淋架上设置有若干喷淋口；所述X向移动驱动组件用于驱动所述Z向移动驱动组件、喷淋架进行X向移动。本实用新型可降低直线运动的固定点震荡或药水浓度不均匀等导致的腐蚀不均匀的问题，提高喷淋腐蚀效果。
基本信息
专利标题 ：
一种垂直湿法喷淋喷头平面摇摆机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122922374.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-25
授权号 ：
CN216561394U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
胡青徐杰李哲轩
申请人 ：
迈达微（深圳）半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福海街道稔田社区大洋路90-10号101
代理机构 ：
深圳市中科创为专利代理有限公司
代理人 ：
杨春
优先权 ：
CN202122922374.7
主分类号 ：
G03F7/30
IPC分类号 ：
G03F7/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/30
用液体消除影像的
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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