氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜
授权
摘要
本实用新型公开了一种氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜，氮气供给系统包括气路，气路包括：高速出气管，用于给氮气柜的内部腔体提供高流速氮气；与高速出气管并联设置的低速出气管，用于给氮气柜的内部腔体提供低流速氮气，低速出气管上设置有流量计二，低速出气管和高速出气管连通至氮气柜的内部腔体中；电磁阀，高速出气管和低速出气管上均安装有电磁阀；进气管，进气管的一端与外接氮气管路连通，进气管的另一端与高速气路和低速气路连通。本实用新型通过设置高速出气管和低速出气管，可以选择性地为氮气柜提供高流速或低流速氮气，大大减少了氮气浪费，经济效益高，节能环保。
基本信息
专利标题 ：
氮气供给系统及具有该氮气供给系统的氮气柜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122926236.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-26
授权号 ：
CN216667271U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
徐涛宋涛汪佳王建军
申请人 ：
徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122926236.6
主分类号 ：
F17D1/04
IPC分类号 ：
F17D1/04 F17D3/01 B01D46/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/02
用于气体或蒸气的
F17D1/04
用于气体分配的
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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