本实用新型提供了一种臭氧浓度检测仪用气体预处理装置，属于臭氧浓度检测仪技术领域。该装置包括臭氧发生器、预处理系统和控制系统，臭氧发生器的出口端连接有臭氧管道，臭氧管道上设置有连接旁路并连接有浓度检测仪，预处理系统设置于臭氧管道的旁路上，预处理系统包括干燥除湿器、颗粒物过滤器、氮氧化物吸附器、电磁阀和气液分离器，控制系统包括控制器和无线通讯单元，该装置具有液位监控功能，可以通过探测液位高度，发出信号，关闭或开启电磁阀，三级过滤装置通过不同级别的填料将待分析气体中微量的杂质和氮氧化合物等进行吸附处理，具有清洁气体的功能，防止浓度检测仪检测腔中透光元器件被污染，从而延长浓度检测仪的使用寿命。