一种泛半导体废气除湿装置及废气处理设备
授权
摘要
本实用新型提供一种泛半导体废气除湿装置及废气处理设备，涉及半导体生产技术领域，泛半导体废气除湿装置包括：水冷装置，导流组件和中心管，水冷装置的内部形成有空腔。导流组件设置于空腔内，导流组件的内部形成有导流通道，导流通道的顶部与空腔连通，导流通道用于增加废气在空腔内流经的距离。中心管的下端插入于导流组件的内部，中心管的下端与导流通道连通，中心管的上端从水冷装置的顶部伸出。通过在水冷装置的内部设置导流组件，利用导流组件的导流通道增加废气在空腔内流经的距离，进而增加与废气接触的面积；废气与水冷壁以及导流组件接触时，废气温度降低至露点温度以下结成冷凝水，从而降低废气中的水汽含量。
基本信息
专利标题 ：
一种泛半导体废气除湿装置及废气处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122994571.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-01
授权号 ：
CN216572367U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
宁腾飞
申请人 ：
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
张建利
优先权 ：
CN202122994571.X
主分类号 ：
B01D53/26
IPC分类号 ：
B01D53/26
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/26
将气体或蒸气干燥
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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