一种可实时监测液位的化学品供液罐
授权
摘要
本实用新型属于化学品供液罐领域，具体地说是一种可实时监测液位的化学品供液罐，包括罐体、封盖、可伸缩储液筒、执行器位置传感器及被感应零件，可伸缩储液筒设置于罐体的内腔中、且上端开口而下端密封，被感应零件设置于可伸缩储液筒的下端，执行器位置传感器安装于罐体的外部、并检测被感应零件的高度位置。被感应零件在可伸缩储液筒的下端随可伸缩储液筒上下移动，通过执行器位置传感器测出被感应零件的高度位置，进而得出可伸缩储液筒内腔中液体的高度大小。该过程中执行器位置传感器输出模拟量信号，转换成的液位高度曲线可为线性、连续，可对罐体中液体的液位进行实时监测，以便随时补充液体，从而完成对晶圆的不间断加工。
基本信息
专利标题 ：
一种可实时监测液位的化学品供液罐
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123003386.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-02
授权号 ：
CN216425543U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
刘健郭生华龚明
申请人 ：
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
代理机构 ：
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 ：
白振宇
优先权 ：
CN202123003386.6
主分类号 ：
B65D90/48
IPC分类号 ：
B65D90/48
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D90/02
•器壁结构
B65D90/48
指示或测量装置的配置
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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