一种晶圆表面硬胶清洁自动化设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆表面硬胶清洁自动化设备，包括安装架、进料储物盒、表面硬胶去除机构、侧面硬胶去除机构、用于清洗晶圆片的清洗机构、用于检测晶圆片的视觉检测机构、成品储物盒、机械手；所述机械手安装于安装架的安装平台上；所述进料储物盒、表面硬胶去除机构、侧面硬胶去除机构、清洗机构、视觉检测机构、成品储物盒依次环绕所述机械手布局；所述机械手可携带晶圆片依次经过表面硬胶去除机构、侧面硬胶去除机构、清洗机构、视觉检测机构，并将处理后的晶圆片输送至储物盒内。本实用新型可分别实现表面硬胶去除、侧面硬胶去除、清洗液清洗、视觉检测等功能，满足自动化生产的需求，生产效率较高。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆表面硬胶清洁自动化设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123006958.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-01
授权号 ：
CN216728328U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
方玉龙
申请人 ：
昆山超瀚电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市周市镇陆杨杜家路316号
代理机构 ：
东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张晓华
优先权 ：
CN202123006958.6
主分类号 ：
B07C5/34
IPC分类号 ：
B07C5/34 B07C5/02 B07C5/36 B08B11/00 B08B11/02 B08B1/00 B08B3/02 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B07
将固体从固体中分离；分选
B07C
邮件分拣；单件物品的分选，或适于一件一件地分选的散装材料的分选，如拣选
B07C5/00
按照物品或材料的特性或特点分选，例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制；用手动装置，例如开关，来分选
B07C5/34
根据其他特殊性质来分选
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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