一种用于测试半导体生产注入机电源的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于测试半导体生产注入机电源的装置,包括底板,底板上固定安装转动电机,底板通过多个支撑柱连接支撑板,支撑板转动连接两个转动轴,其中一个转动轴的一端与转动电机的输出端固定连接,两个转动轴通过传动装置连接多个放置框,且用于承载通过掺杂工序的晶圆,支撑板上设置检测装置。本实用新型通过转动电机的驱动,带动传动带匀速转动,使得放置框上的晶圆跟随运动,经过两处长块和竖直板之间,两处长块上的灯体,若其中一处长块上的灯体通电发光,另一处长块上的灯体不通电发光,则证实该晶圆具备半导体材质的特性,掺杂工序在该晶圆上为顺利完成,减少技术人员的劳动力,节省大量的时间,提高晶圆生产的效率。
基本信息
专利标题 :
一种用于测试半导体生产注入机电源的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123046894.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-06
授权号 :
CN216696543U
授权日 :
2022-06-07
发明人 :
张兴星
申请人 :
吉林赛因斯科技有限公司
申请人地址 :
吉林省吉林市船营区北极街宏光小区4号楼3单元1层43号
代理机构 :
东莞市卓易专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
丁杭静
优先权 :
CN202123046894.2
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-06-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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