一种玻璃基板控温的恒温机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种玻璃基板控温的恒温机构，包括恒温箱体和风机，所述风机固定安装在恒温箱体顶端的一侧，所述恒温箱体的内侧壁上设置有高效保温结构，所述高效保温结构包括内壳、连接架、内腔和保温棉。该玻璃基板控温的恒温机构通过恒温箱体的内侧壁上设置有内壳，且恒温箱体和内壳之间固定连接有连接架，恒温箱体和内壳之间设置有内腔，内腔的内部设置有保温棉，在使用时，利用恒温箱体与内壳形成双层的保温结构，并且双层结构的内部填充保温棉作为保温夹层，双重保温效果可以使得恒温箱体内部温度稳定，易于控制恒温箱体内部的温度，解决的是保温性能较差，导致温度不易控制的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种玻璃基板控温的恒温机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123049589.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-07
授权号 ：
CN216286149U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
韩永林
申请人 ：
江苏特纳马智能制造有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园3号厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123049589.9
主分类号 ：
G03F7/00
IPC分类号 ：
G03F7/00 G02F1/13
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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