一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置，包括液位管、上液位传感器、下液位传感器以及安装板，液位管的两端分别固定连接有安装板，安装板的中心开设有与液位管相连通的通孔，液位管的外表面固定连接有纵向分布的上液位传感器和下液位传感器，上液位传感器、下液位传感器与液位管的连接处均设有调节座，调节座套接连接在液位管的表面且与液位管滑动连接，调节座的边缘处设有锁紧螺栓，液位管的下端内嵌有过滤机构。本实用新型通过在水槽的侧壁固定连接有带上液位传感器、下液位传感器的液位管，利用U型管的原理更加直观的展示水槽内的液位高度，同时非接触的传感器能够避免与废液直接接触，提高传感器工作的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体废气处理设备新型水箱液位装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123069652.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-08
授权号 ：
CN216593648U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
崔汉博崔汉宽
申请人 ：
上海高生集成电路设备有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区康桥路957号12幢4层
代理机构 ：
上海老虎专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
葛瑛
优先权 ：
CN202123069652.5
主分类号 ：
G01F23/02
IPC分类号 ：
G01F23/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F23/00
液体液面或流动的固态材料料面的指示或测量，例如，用容积指示，应用报警装置的指示
G01F23/02
应用玻璃液位计或其他带有小窗口或透明管可直接观察被测液面或直接观察与液体主体自由连通的液柱的仪表
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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