一种匀气模具及石墨烯纤维布制备装置
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摘要

本实用新型属于石墨烯的生产制造技术领域,公开了一种匀气模具及石墨烯纤维布制备装置。该匀气模具包括:顶板,在顶板上设置有进气孔,进气孔用于通入反应气体;底板,与顶板平行间隔设置,在底板上设置有出气孔;匀气支架,位于顶板和底板之间并分别与其相连接,匀气支架用于纤维布的缠绕,在匀气支架内部设置有匀气通道,匀气通道分别连通于进气孔和出气孔并用于向纤维布输送反应气体,用于在纤维布表面生长石墨烯。该匀气模具通过在顶板和底板之间设置匀气支架,匀气支架起到了对纤维布支撑的作用,采用卷绕式结构,不会出现上层对下层进行遮挡干涉的情况,保证反应气体的流通性,匀气通道能够引导反应气体的流向,均匀性好。

基本信息
专利标题 :
一种匀气模具及石墨烯纤维布制备装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123079828.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-09
授权号 :
CN216514117U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
刘忠范李隽良王坤亓月程熠屠策
申请人 :
北京石墨烯研究院;北京大学
申请人地址 :
北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼
代理机构 :
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 :
李建忠
优先权 :
CN202123079828.5
主分类号 :
C23C16/455
IPC分类号 :
C23C16/455  C23C16/26  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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