一种防脱落圆形晶圆载具
授权
摘要
本实用新型公开了一种防脱落圆形晶圆载具，涉及晶圆加工领域，包括载具底板和载具顶板，载具底板和载具顶板之间固定连接有竖直设置的载具支柱，载具底板和载具顶板后侧边缘呈对称的多边形，载具底板和载具顶板前侧边缘呈扇形，载具底板和载具顶板之间的容置空间为晶圆承载空间，晶圆承载空间后侧外边缘左右对称的设置有若干个晶圆承载板，晶圆承载空间前侧边缘处左右对称的设置有晶圆防脱挡柱。本实用新型的优点在于：通过对述载具底板和载具顶板外形进行分隔设计，在载具前侧设置有转动的晶圆防脱挡柱，可有效的防止圆形晶圆板从晶圆载舟中脱落，有效的降低了晶圆在转运过程中从晶圆载舟中脱落概率，降低了晶圆的损坏率。
基本信息
专利标题 ：
一种防脱落圆形晶圆载具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123107514.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
CN216510251U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
白雪山沙峰
申请人 ：
太仓鼎函自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市太仓市经济开发区东仓北路109号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123107514.1
主分类号 ：
B65D61/00
IPC分类号 ：
B65D61/00 B65D85/62
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D61/00
适用于围绕物件安装的，或贴到物件上的外框架或支承件
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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