一种晶圆打磨除尘设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆打磨除尘设备，包括打磨箱与集尘箱，所述打磨箱内腔固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定连接有连接板，所述连接板下端固定安装有伺服电机，所述伺服电机输出端通过联轴器连接有打磨盘，所述打磨箱内腔下端固定安装有支撑腿，所述支撑腿上端固定安装有支撑板，所述打磨箱内腔固定杆安装有第一风机，所述第一连接管另一端固定连接有吸盘，所述第一风机另一端固定连接有第二连接管，所述打磨箱一侧设有第二风机，所述第二风机一端固定连接有第三连接管，所述第二风机另一端固定连接有第四连接管，本实用新型便于将晶圆进行固定，且可以将打磨的废屑进行集中处理。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆打磨除尘设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123111379.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
CN216633717U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
胡建军
申请人 ：
苏州英尔捷半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭双马街2号星华产业园19-2号厂房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123111379.8
主分类号 ：
B24B7/22
IPC分类号 ：
B24B7/22 B24B55/06 B24B41/06 B24B41/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置，包括抛光平面玻璃表面；及其附件
B24B7/20
以被磨非金属制品的材料性质为特征专门设计的
B24B7/22
用于磨削无机材料，如石头，陶瓷，瓷器
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
