本实用新型涉及装置结构技术领域，且公开了一种迷宫式的parylene气体捕集装置，包括冷阱外壁，所述冷阱外壁的内部设置有冷阱内壁，所述冷阱内壁的顶部设置有盲板，所述盲板的内部固定设置有进气管，所述冷阱外壁的内部固定设置有出气管，所述冷阱内壁的内部设置有捕集腔室。该迷宫式的parylene气体捕集装置，通过在冷阱内壁的内侧壁上设置迷宫结构，使得气体在捕集腔室内部的流动路线成S型，并使得气体滞留时间增长，沉积有效面积变大，可以更好的捕集未在腔室沉积parylene气体与水汽，从而增大了捕集腔室内部与气体的接触面，提高了冷阱的使用率，保护了真空泵，降低真空泵因水汽和腐蚀性气体所受到的损伤。