本实用新型公开了一种微波式载玻片烘干器，包括上端开口的容纳载玻片的筒体、安装在筒体下端的支撑腿、设置在筒体上端的筒盖、以及安装在筒体内用于从内而外的微波式加热机构。微波式加热机构由内而外的加热。还包括设置在筒体内的由外而内加热的陶瓷式加热机构以及对筒体抽真空的抽真空机构。陶瓷式加热机构是由外而内的加热，与微波式加热机构的由内而外进行结合。而抽真空机构则保持筒体内为复杂，这样载玻片能够吸合在一起。首先将筒体内形成负压，然后再加热。载玻片和盖片吸合在一起，产生一个压紧的力，而陶瓷加热板实现由外到内的加热，而磁控管产生的电磁波，实现由内而外的加热，这样，内外结合加热，干燥速度更快。